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发布时间:2022-04-27 08:40:00 作者:麦得恩自动化





使曝光图案完全正确是一项棘手的任务,在这个过程中可能会发生粒子干扰折射和其他物理或化学。这就是为什么有时我们需要通过特别修改掩模上的图案来优化终的曝光图案,使打印出来的图案看起来像我们需要的。我们的系统将算法模型与光刻机和测试晶圆的数据相结合,生成一个与终曝光图案完全不同的掩模设计,但这正是我们想要实现的,因为只有这样才能得到所需的曝光图案。
当开关变压器的次级线圈通过整流二极管DD开始输出12V电压时,12V电压通过由电容CD滤波电路过滤后,过滤掉因为整流二极管DD产生的浪涌电压。然后12V电压再经过电容C02DCD构成的滤波电路过滤掉交流干扰信号,再输出纯净的12V直流电压。当开关变压器T01的次级产生下正上负的感应电动势时,次级上连接的二极管DD处于截止状态,此时能量被存储起来。当开关变压器T01次级为上正下负的电动势时,变压器次级上连接的整流二极管DD被导通,然后开始输岀直流电压。输出端整流稳压滤波电路主要由整流二极管滤波电容等组成。
开关振荡电路主要由开关控制芯片开关变压器等元器件组成,它的主要作用是通过开关控制芯片输出的矩形脉冲信号,驱动开关管不断地进行开/关,使其处于开关振荡状态,从而使开关变压器的初级线圈产生开关电流,开关变压器处于工作状态,在次级线圈中产生感应电流,再经过处理后输出电压。开关振荡电路软启动电路避免了开机瞬间由于C02DCD滤波的作用,不能及时为光耦电合器电合器IC02D提供正常的误差取样信号,导致IC02D不能为IC01D提供正常的控制电压,可能会引起开关管在开机瞬间过激励损坏。
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